Tomograf Laserowy LST

Urządzenie , opracowane w Instytucie Optyki Stosowanej na zamówienie Instytutu Technologii Matriałów Elektronicznych w ramach projektu badawczego, finansowanego przez Komitet Badań Naukowych urządzenie LST ( Laser Scanning Tomograph) jest przeznaczone do badania jakości materiałów półprzewodnikowych z zastosowaniem zjawiska rozproszenia światła laserowego. Wiązka światła lasera Nd:YAG (1,06 m) zostaje zogniskowana na krawędzi próbki materiału półprzewodnikowego. Wchodząc do jej wnętrza światło rozprasza się na defektach, a obrazy rozproszeniowe są rejestrowane za pomocą kamery CCD, czułej na podczerwień, sprzężonej z układem mikroskopowym. Przemieszczając badaną próbkę prostopadle do kierunku obserwacji otrzymuje się dwuwymiarową mapę centrów rozproszeń. Zmieniając płaszczyzny obserwacji uzyskuje się kolejne warstwice, a tym samym możliwość odtworzenia przestrzennego rozkładu defektów w badanej próbce. Urządzenie współpracuje z komputerem, wyposażonym w specjalizowane oprogramowanie, pozwalające na sterowanie procesem skaningu próbki oraz przetwarzanie zarejestrowanego obrazu. Metoda rozproszeniowa umożliwia obserwacje defektów już o rozmiarach kilkudziesięciu nanometrów. Wykrycie defektów oraz znajomość ich rozkładu w materiale ma istotne znaczenie w kontroli procesu technologicznego wytwarzania półprzewodników, stosowanych w produkcji układów mikroelektronicznych najnowszej generacji.